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微焦點(diǎn)CT-半導體元器件X射線(xiàn)顯微成像系統是一種基于X射線(xiàn)的成像技術(shù)，使用微型計算機斷層掃描技術(shù)（Micro Computed Tomography）。包括掃描和重構兩個(gè)主要部分，Micro/Nano 表明其分辨率可達到微米/亞微米級別。